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高端设备类产品
UPEALA-200/300设备是用于硅基功率器件退火加工的专业工艺设备，主要由工艺加工系统和晶圆传输系统组成。HBS系列全自动晶圆混合键合系统
HBS系列全自动晶圆混合键合系统
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产品中心
Product Center
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UPEALA-200/300设备是用于硅基功率器件退火加工的专业工艺设备，主要由工艺加工系统和晶圆传输系统组成。HBS系列全自动晶圆混合键合系统
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